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EIDENHAIN光栅的原理与测量准确度

发布时间:2021-01-17 点击量:99
   HEIDENHAIN光栅是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床固定部件上,光栅读数头装在机床活动部件上,指示光栅装在光栅读数头中。就是光栅尺的结构。检测装置的关键部分是光栅读数头,它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。
 
  EIDENHAIN光栅的原理:
  由光栅方程可知,对于相同的光谱级数m,以同样的入射角α投射到光栅上的不同波长λ1、λ2、λ3.....组成的混合光,每种波长产生的干涉较大都位于不同的角度位置;即不同波长的衍射光以不同的衍射角β出射。这就说明,对于给定的光栅,不同波长的同一级主级大或次级大(构成同一级光栅光谱中的不同波长谱线)都不重合,而是按波长的次序顺序排列,形成一系列分立的谱线。这样,混合在一起入射的各种不同波长的复合光,经光栅衍射后彼此被分开。这就是衍射光栅的分光原理。
 
  EIDENHAIN光栅的测量准确度(精度):
  光栅线位移传感器的测量准确度,先取决于标尺光栅刻线划分度的质量和指示光栅扫描的质量(栅线边沿清晰至关重要),其次才是信号处理电路的质量和指示光栅沿标尺光栅导向的误差。影响光栅尺测量准确度的是在光栅整个测量长度上的位置偏差和光栅一个信号周期内的位置偏差。

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