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HEIDENHAIN直线光栅尺

HEIDENHAIN直线光栅尺

简要描述:HEIDENHAIN直线光栅尺
与扫描掩膜之间有相对运动时,衍
射波面产生相位移:移过一个栅距时将正
一级衍射波面在正方向上偏移一个光波波
长,而负一级衍射光波面在负方向上偏移
一个光波波长。由于这两束光离开相位光
栅时相互发生干涉,这两束光彼此相对位
移两个光波波长。也就是说,相对运动一
个栅距可以得到两个信号周期。

产品厂地: 淮安市

厂商性质: 代理商

所属分类:HEIDENHAIN直线光栅尺

更新时间:2021-12-07

访问次数:168

详细说明:
品牌HEIDENHAIN/德国海德汉应用领域医疗卫生,环保,食品,化工,石油

HEIDENHAIN直线光栅尺增量测量法介绍

在不理想的情况下,可能需要运动机床 测量范围的相当大部分。为加快和简化 “参考点回零"操作,许多海德汉尺带距 离编码参考点,这些参考点之间彼此相距 数学算法确定的距离。因此只需运动数毫 米,一旦移过两个相邻参考点后,后续电 子电路就能找到参考点位置。距离编码参考点的光栅尺在型号后 均带字母“C"(例如LIF 181C)。对于距离编码参考点,参考点B的位 置用两个参考点间步距数和以下公式计算:

HEIDENHAIN直线光栅尺光电扫描

海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原理。光电扫描在工作中无接触,因此无磨 损。光电扫描可以检测到非常细小的光栅,栅线宽度可仅数微米,并能输出非常 细小的信号周期信号。 测量基准的栅距越小,光电扫描的衍射现 象越严重。

海德汉直线光栅尺采用两种扫描原理:

1、成像扫描原理用于10µm至200µm的栅距。

2、干涉扫描原理用于栅距4µm甚至更小栅距的光栅。成像扫描原理 简单地说成像扫描原理是用透射光生成信号:两个栅距相同或相近的光栅与扫描掩 膜彼此相对运动。

扫描掩膜的基体为透明色,而作为测量基准的光栅材料可为透明 材料也可以为反光材料。当平行光穿过光栅时,以特定的间隔形成 明暗的光影区。在该处设有栅距相同或相近的扫描光栅。当两个光栅相对运动时, 入射光被调制:在狭缝对齐时,光线通过。


增量测量法的磁栅由周期性栅线组成。通过计算自某点开始的增量数(测量步距 数)获得位置信息。由于必须用参考 点确定位置值,因此测量基准的光栅尺上 还有一个参考点刻轨。在光栅尺上,由参 考点确定的位置是在一个信号周期分 配的。因此,必须通过扫描参考点建立绝 对基准点或确定上次选择的原点。

更多产品详见:HEIDENHAIN光栅尺



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