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品牌 | HEIDENHAIN/德国海德汉 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 化工 |
敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺
海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原 理。
光电扫描在工作中无接触,因此无磨 损。光电扫描可以检测到非常细小的光 栅,栅线宽度可仅数微米,并能输出非常 细小的信号周期信号。 测量基准的栅距越小,光电扫描的衍射现 象越严重。
海德汉直线光栅尺采用两种扫 描原理:
• 成像扫描原理用于10 µm至200 µm的栅 距。
• 干涉扫描原理用于栅距4 µm甚至更小栅 距的光栅。 成像扫描原理 简单地说成像扫描原理是用透射光生成信 号:两个栅距相同或相近的光栅与扫描掩 膜彼此相对运动。
扫描掩膜的基体为透明 色,而作为测量基准的光栅材料可为透明 材料也可以为反光材料。 当平行光穿过光栅时,以特定的间隔形成 明暗的光影区。在该处设有栅距相同或相 近的扫描光栅。当两个光栅相对运动时,
入射光被调制:在狭缝对齐时,光线通 过。如果一个光栅的刻线与另一个光栅的 狭缝对齐,光线无法通过。光电池将这些 光强变化转化成电信号。特殊结构的扫描 掩膜将光强调制为近正弦输出信号。光栅 条纹的栅距越小,扫描掩膜与光栅尺间的 间距越小,公差越严。
对于成像扫描原理 的光栅尺,10 μm或更大栅距的光栅尺可 满足实用的安装公差要求。 LIC和LIDA系列直线光栅尺为成像扫描原 理。
敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺LIC 2119,LIC 2199
式直线光栅尺,测量长度达3 m
• 测量步距100 nm或50 nm
• 钢尺带,粘结在安装面上
• 直线光栅尺和读数头配套使用