敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

简要描述：敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺
海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原理。光电扫描在工作中无接触，因此无磨损。光电扫描可以检测到非常细小的光栅，栅线宽度可仅数微米，并能输出非常细小的信号周期信号。

产品厂地： 淮安市

厂商性质： 代理商

所属分类：HEIDENHAIN直线光栅尺

更新时间：2020-12-13

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 敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原 理。

光电扫描在工作中无接触，因此无磨 损。光电扫描可以检测到非常细小的光 栅，栅线宽度可仅数微米，并能输出非常 细小的信号周期信号。 测量基准的栅距越小，光电扫描的衍射现 象越严重。

海德汉直线光栅尺采用两种扫 描原理：

• 成像扫描原理用于10 µm至200 µm的栅 距。

• 干涉扫描原理用于栅距4 µm甚至更小栅 距的光栅。 成像扫描原理 简单地说成像扫描原理是用透射光生成信 号：两个栅距相同或相近的光栅与扫描掩 膜彼此相对运动。

扫描掩膜的基体为透明 色，而作为测量基准的光栅材料可为透明 材料也可以为反光材料。 当平行光穿过光栅时，以特定的间隔形成 明暗的光影区。在该处设有栅距相同或相 近的扫描光栅。当两个光栅相对运动时，

入射光被调制：在狭缝对齐时，光线通 过。如果一个光栅的刻线与另一个光栅的 狭缝对齐，光线无法通过。光电池将这些 光强变化转化成电信号。特殊结构的扫描 掩膜将光强调制为近正弦输出信号。光栅 条纹的栅距越小，扫描掩膜与光栅尺间的 间距越小，公差越严。

对于成像扫描原理 的光栅尺，10 μm或更大栅距的光栅尺可 满足实用的安装公差要求。 LIC和LIDA系列直线光栅尺为成像扫描原 理。

 敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺LIC 2119，LIC 2199

式直线光栅尺，测量长度达3 m

• 测量步距100 nm或50 nm

• 钢尺带，粘结在安装面上

• 直线光栅尺和读数头配套使用