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敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

简要描述:敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺
当平行光穿过光栅时,以特定的间隔形成明暗的光影区。在该处设有栅距相同或相近的扫描光栅。当两个光栅相对运动时,入射光被调制:在狭缝对齐时,光线通过。如果一个光栅的刻线与另一个光栅的狭缝对齐,光线无法通过。光电池将这些光强变化转化成电信号。特殊结构的扫描掩膜将光强调制为近正弦输出信号。光栅条纹的栅距越小,扫描掩膜与光栅尺间的间距越小,公差越严。对

产品厂地: 淮安市

厂商性质: 代理商

所属分类:HEIDENHAIN直线光栅尺

更新时间:2020-12-14

访问次数:33

详细说明:
品牌HEIDENHAIN/德国海德汉产地类别进口
应用领域化工

敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

 传感器生成四路近正弦电流信号(I0°, I90°,I180°和I270°),相互间的相位差 为90°电子角。这些扫描信号开始时并 不对称于零线。因此,反向平行地连接 光电池,以生成两路相位差90°电子角 的输出信号I1和I2,这两路信号对称于 零线。

在示波器的X/Y坐标图中,这两路信号 形成李萨如图。理想输出信号显示为中 心圆。偏离正圆形和偏离位置的原因是 位置误差所致,因此直接影响测量结 果。圆的大小对应于输出信号幅值, 它可在一定限度内变化,不影响测量 精度

 干涉扫描原理

干涉扫描原理是利用精细光栅的光衍射和 光干涉生成位移测量的信号。

阶梯光栅作为测量基准:在平反光面上刻 有0.2 µm高度的反光线。其前方是扫描掩 膜,其栅距与光栅尺的栅距相同,是透射 相位光栅。

光波穿过扫描掩膜时,将光波衍射为光强 近似的三束光:+1、0和-1。在被光栅尺 衍射的光波中,在反射的衍射光中,光强 至强的光束为+1和-1。这两束光在扫描掩 膜的相位光栅处再次相遇,再一次被衍射 和干涉。也形成三束光,并以不同的角度 离开扫描掩膜。光电池将这些交变的光强 转化成电信号。

当光栅与扫描掩膜之间有相对运动时,衍 射波面产生相位移:移过一个栅距时将正 一级衍射波面在正方向上偏移一个光波波 长,而负一级衍射光波面在负方向上偏移 一个光波波长。由于这两束光离开相位光 栅时相互发生干涉,这两束光彼此相对位 移两个光波波长。也就是说,相对运动一 个栅距可以得到两个信号周期。

干涉光栅尺的栅距较小,例如8 µm、4 µm甚至更小。其扫描信号基本没有高次 谐波,能进行高倍频细分。因此,这些光 栅尺特别适用于小测量步距和高精度应 用。当然都满足实用的安装公差要求。 LIP、LIF和PP直线光栅尺采用干涉扫描 原理。

敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

 LIDA 473,LIDA 483

带限位开关的增量式直线光栅尺

• 测量步距达10 nm

• 玻璃或玻璃陶瓷测量基准

• 易于安装,粘结固定

• 直线光栅尺和读数头配套使用

 



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